作为实例,该系统适用于陶瓷材料的生产/渭南日报:新澳门资料大全正版资料2024年免费。预陶瓷树脂可用于大规模生产技术陶瓷颗粒,在化学机械平面化技术中具有潜在的应用,如浆料成分,导电颗粒,微型工具,微机电系统或波导,使电子,电信和医疗保健等工业应用成为可能。例如,研究者从HDDA预陶瓷混合物中制备了200µm颗粒,并在800°C的氮气中进行热解,得到103µm中空陶瓷颗粒,特征尺寸为25µm(图4a)。对这些颗粒的能量色散X射线能谱(EDS)分析显示,O、Si和C的组成分布均匀(图4b)。随后在氮中退火至1400°C,根据前驱体材料和加工条件,可以获得包括Si3N4和SiO2在内的相。未来的研究可以通过不同的预陶瓷配方来考察该工艺的有效性,并探索其潜在的应用前景。
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