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测量系统光轴平行于z轴方向，标准平面应在所有测量位置垂直于xoz平面绿色中国网络电视 :0149002.cσm查询,澳彩资料。标准平面在测量空间的至少6个不同位置安装。测量得到标准平面工作面的点云数据，计算每个测量方向的最佳拟合平面。分布在拟合平面两侧的点，到拟合平面单侧距离最大值的代数和，作为该位置平面形状探测误差Fi，i表示测量位置的序号。取各位置中最大值，作为平面形状探测误差下的测量结果.
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